Ventuză cu vid seria ZP3P
Seria ZP3P Tip de evacuare longitudinală a vidului cu tampon
Tipul de evacuare longitudinală a vidului din seria ZP3P cu tampon este un ghidaj de flux de particule conceput pentru medii cu vid înalt. Funcția sa de bază este de a obține o extracție eficientă și stabilă a fasciculelor longitudinale de particule. În același timp, optimizează dinamica transmisiei particulelor prin structuri tampon integrate pentru a răspunde nevoilor proceselor industriale de precizie.
Principalele caracteristici tehnice
Arhitectură longitudinală de extracție în vid
Designul canalului de vid simetric axial este adoptat pentru a se asigura că fluxul de particule este direcțional de-a lungul axei principale a echipamentului, pentru a evita distorsiunea câmpului de curgere cauzată de extracția laterală și pentru a menține integritatea fluxului de aer al camerei de vid.
Mecanism tampon încorporat
Unitatea tampon dinamică în mai multe etape încorporată realizează pre-reglarea fluxului de particule cu energie înaltă prin reglarea gradientului de energie fără contact, reduce divergența spațiului fazei particulelor și oferă un fascicul de particule cu o colimare mai bună pentru procesele din aval.
Design compatibil cu vacuum
The entire structure meets the ultra-high vacuum (UHV) material specifications and sealing standards, and the key components are passivated on the surface to suppress the outgassing effect, ensuring long-term stable operation at a vacuum degree of 10-5 Pa and above.
Optimizarea dinamicii transmisiei
Designul coordonat al modulului tampon și al canalului de extracție realizează comprimarea activă a spectrului de energie al particulelor, suprimă eficient pierderea prin împrăștiere și îmbunătățește calitatea fasciculului, ceea ce este potrivit în special pentru scenariile de aplicare cu cerințe stricte privind monocromaticitatea.
Adaptabilitatea sistemului industrial
Interfața standard cu flanșă acceptă integrarea modulară și se poate conecta fără probleme la diferite camere de proces cu vid. Designul său de structură nemagnetizat își extinde și mai mult aplicabilitatea în medii sensibile la câmpul magnetic.
